超硬材料網

       專利號：201210085095

       申請人：上海交通大學;上海交友鉆石涂層有限公司

       技術簡要說明：本發明公開了一種多元摻雜熱絲化學氣相沉積制備金剛石薄膜的方法及用于其中的反應氣體輸送裝置。所述方法以硅、碳化硅或氮化硅陶瓷、硬質合金、以及高熔點金屬材料(鎢、鉭、鉬、鈦等)為襯底，以CVD法為沉積手段，在反應氣體氫氣和丙酮(或丙酮和甲醇)蒸汽中同時添加含Si、含Si和含N、含Si和含B或含Si、含N和含B的有機化合物，形成多元摻雜體系；反應得到了亞微米或納米級金剛石薄膜涂層，涂層厚度可在10～50μm之間調節。該薄膜具有耐磨、耐腐蝕、絕緣電阻高(不摻硼場合)、表面光滑、摩擦系數小、易研磨拋光等特點，即兼有微米金剛石和納米金剛石涂層的雙重優點。