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      專利:快速沉積類金剛石薄膜的裝置

      申請號:201310074074申請人:北京科技大學摘要:本發明為一種快速制備類金剛石薄膜的方法及裝備。采用射頻空心陰極效應,將等離

      日期 2013-06-08   

      沉積類金剛石薄膜的鍍膜機

      名稱沉積類金剛石薄膜的鍍膜機公開號2408126公開日2000.11.29主分類號C23C14/24

      日期 2010-12-23   
        共 2 條記錄

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