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      回旋電子增強熱絲化學氣相沉積制備金剛石薄膜的方法

      名稱回旋電子增強熱絲化學氣相沉積制備金剛石薄膜的方法公開號1355330公開日2002.06.26主分類號C23C1

      日期 2010-12-21   
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