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       到目前為止，解決固體激光器的熱管理問(wèn)題仍然具有挑戰(zhàn)性。在所有已知材料中，金剛石具有最高的熱導(dǎo)率、極其穩(wěn)定的物化性質(zhì)，這使得金剛石成為熱管理應(yīng)用的首選材料。近些年來(lái)，金剛石與激光晶體的鍵合技術(shù)迅速發(fā)展，有效緩解了固體激光器的熱效應(yīng)，然而該技術(shù)對(duì)金剛石的平整度和粗糙度的要求極高，給金剛石加工帶來(lái)了巨大的挑戰(zhàn)。

       近日，中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所微納光電子功能材料實(shí)驗(yàn)室研究團(tuán)隊(duì)在金剛石異質(zhì)外延研究方面取得新進(jìn)展，相關(guān)研究成果以“Heteroepitaxial growth of diamond films on Y3Al5O12 single crystals”為題發(fā)表在Materials Chemistry and Physics Materials Chemistry and Physics上。

       該提出了一種新的熱管理方法，即直接在晶體表面異質(zhì)外延生長(zhǎng)金剛石薄膜。采用微波等離子體氣相沉積(MPCVD)方法，成功地在Y3Al5O12(YAG)襯底上合成了高質(zhì)量的金剛石薄膜，提高了YAG晶體的熱性能。采用不同的前處理方法和沉積參數(shù)生長(zhǎng)金剛石薄膜，其中預(yù)處理方法是在晶種步驟之前將襯底暴露在金剛石生長(zhǎng)條件下。

       沉積后，詳細(xì)研究了生長(zhǎng)樣品的質(zhì)量、熱性能和光學(xué)性能，研究了前處理和沉積參數(shù)對(duì)薄膜性能的影響。結(jié)果表明，在YAG襯底上沉積連續(xù)的金剛石膜需要充分的預(yù)處理工藝，而沉積過(guò)程中相對(duì)較高的溫度和較低的甲烷濃度有利于獲得高質(zhì)量的金剛石膜。此外，在YAG晶體上沉積金剛石膜可以有效地提高材料的熱導(dǎo)率，而對(duì)材料的光學(xué)性能影響極小，滿足激光應(yīng)用的需求，為固體激光器的熱管理提供了新的選擇。

圖1. 不同樣品的表面形貌及其熱學(xué)性能

       研究亮點(diǎn)

       采用MPCVD方法在YAG襯底上沉積了連續(xù)的金剛石薄膜。

       研究了沉積條件對(duì)金剛石膜質(zhì)量的影響。

       金剛石的沉積有效地提高了YAG的熱性能。

       沉積過(guò)程對(duì)YAG的光學(xué)性能影響不大。

       文獻(xiàn)信息：

       Heteroepitaxial growth of diamond films on Y3Al5O12single crystals

       Shulong Zhang, Chengchun Zhao, YingZhu, Yifei Fang, Shanming Li, Mingzhu He, Yin Hang

       Materials Chemistry and Physics

       https://doi.org/10.1016/j.matchemphys.2021.125152