經歷了數次疫情的洗禮,第六屆國際碳材料大會暨產業展覽會終于克服重重困難,于11月15日在深圳國際會展中心(寶安新館)正式開幕,全國各地科研院所、企業、專家等云集深圳,堅持產學研結合,探討新技術、新工藝、新市場,其中極端制造與超精密加工論壇于15日14:00-17:00成功舉辦。論壇由中國超硬材料網總經理石超主持。
▲ 中國超硬材料網總經理石超
本屆極端制造與超精密加工論壇齊聚頂級產學研嘉賓,以“金剛石與激光結合應用技術、第三代半導體基片高效超精密拋光、復合材料加工技術、硬脆難加工材料、復合材料超高速磨削、微波CVD金剛石、聚焦離子束刻蝕”等為話題,舉行多場高質量技術報告,來自全國各地的院士大咖、專家學者、企業代表分享研究成果,全方位、多層次深入探討,不一樣的熱點,超前沿的話題!
下午兩點論壇正式開始,首先做報告的是南方科技大學講席教授、工學院副院長張璧教授,報告題目是《超高速磨削加工難加工材料表面完整性研究》。
南方科技大學講席教授、工學院副院長張璧教授做《超高速磨削加工難加工材料表面完整性研究》報告
報告內容涉及理論分析、多尺度建模仿真、加工工藝、過程監控和材料表征等,使用超高速加工設備、高應變率霍普金森拉伸和壓縮設備、掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡等技術以及有限元方法和分子動力學等多尺度模擬仿真手段,探索材料加工中表面完整性的演化規律,為企業提供高效優質加工方案。
接下來是南方科技大學機械與能源工程系吳勇波教授帶來的報告《光學非球面超聲輔助直線刃單點金剛石切削技術研究》。
南方科技大學機械與能源工程系吳勇波教授做《光學非球面超聲輔助直線刃單點金剛石切削技術研究》報告
報告中對于高性能光學非球面透鏡/反射鏡的高效精密加工制造,提出了超聲輔助直線刃單點金剛石超精密切削新方法。在分析了所提方法相較于傳統的金剛石磨削和圓弧刃單點金剛石切削優勢的基礎上,設計制作了超聲切削裝置,并搭載到超精密數控車床上構建了實驗裝置。針對適合于遠紅外探測的硒化鋅材料和EUV光刻機光路系統反射鏡不可或缺的微晶玻璃,進行了非球面超精密切削加工實驗。一系列不同參數下的實驗結果表明,在合適加工參數下,可獲得表面粗糙度Ra10nm左右、面形精度約100nm的高表面質量高面形精度非球面,同時超聲作用可大幅度減輕刀具磨損,驗證了該新方法具備高效高精加工光學非球面的高度可行性。
第三場報告嘉賓是深圳優普萊等離子體技術有限公司研發董事長全峰,做題目為《基于MPCVD技術的金剛石涂層制備及其先端工業應用》的報告。
深圳優普萊全峰董事長做《基于MPCVD技術的金剛石涂層制備及其先端工業應用》的報告
報告中全總指出高品質的金剛石涂層在尖端精密機械,光學,生物醫學,能源環境和半導體領域具有非常重要的應用。該技術長期掌握在歐美日少數公司手中,屬于典型的“卡脖子”的高端材料。本報告圍繞目前市場上的主流金剛石涂層制備技術展開,熱絲CVD,諧振腔MPCVD,線性等離子體MPCVD。分析各種制備技術的優缺點。最后分析了金剛石涂層的各領域市場份額和趨勢,為MPCVD的發展指明了方向。
論壇最后一場報告是由大連理工大學孫吉寧教授在線分享的《聚焦離子束刻蝕與跨尺度微納制造》。
大連理工大學孫吉寧教授在線分享《聚焦離子束刻蝕與跨尺度微納制造》
孫教授長期致力于微納米制造、微納功能表面、微納傳感器方面的前沿研究。成功研發了第一代可以用于大尺寸微納加工制造的納米級金剛石切割工具,孫教授掌握的超精密聚焦離子束三維刻蝕核心技術,打破了該領域幾十年來的尺度極限,在超精密納米加工中,解決了各種瓶頸問題,在孫教授看來,高精度與高效率是超精密加工永恒的主題,探索能兼顧效率和精度的加工方法,是他永恒的目標。每場報告大約25分鐘,每場報告結束后,有問答環節。現場的各位業界專家們也積極與報告嘉賓互動,并對相關話題展開了討論。
報告結束,主持人為每位報告嘉賓頒發證書,并合影留念!
根據會議安排,15日還同期舉辦了Workshop:激光遇見碳——金剛石與激光結合的應用探索,由浙江富研新型材料有限公司首席科學家兼技術總監宋建民教授主持,并做了專業的分享,之后相關企業及專家團隊就十多個話題共同探索金剛石與激光結合的應用以及金剛石在光電器件領域應用。
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